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姑苏元本请求水基型激光切开晶圆维护液及其制备办法专利尘粒削减99%以上

来源:火狐直播nba    发布时间:2025-12-31 14:59:15

  金融界2025年7月28日音讯,国家知识产权局信息数据显现,姑苏元本科技咨询有限公司请求一项名为“一种水基型激光切开晶圆维护液及其制备办法”的专利,公开号CN120365809A,请求日期为2025年04月。

  专利摘要显现,本发明供给了一种水基型激光切开晶圆维护液及其制备办法,该水基型激光切开晶圆维护液包含水溶性树脂组合物、水溶性紫外线吸收剂、水溶性有机溶剂、复合缓蚀剂、外表活性物质和水;水溶性树脂组合物包含水溶性改性酚醛树脂、共聚维酮和甲基乙烯醚‑马来酸酐共聚物。本维护液具有十分杰出旋涂性和附着力,经过旋涂涂布方法,在晶圆标明发生均匀通明的涂层维护膜,该维护膜可以大大下降激光切开过程中热影响区域,成膜后切开口垂直,无烧结现象,并阻挠冷凝的硅蒸汽或其他在工艺流程中发生的颗粒、粉尘沉积在半导体元器件及芯片外表,尘粒削减99%以上;削减晶片壁微裂纹,削减晶片崩角现象,可以极大的进步芯片的可靠性和合格率。

  天眼查资料显现,姑苏元本科技咨询有限公司,成立于2020年,坐落姑苏市,是一家以从事科技推广和使用服务业为主的企业。企业注册资本500万人民币。经过天眼查大数据分析,姑苏元本科技咨询有限公司参加招投标项目1次,产业线条,此外企业还具有行政许可6个。

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